两项激光小角度副基准装置获批使用
2021年3月12日，全国批准了《国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》，纲要中提出建设重大科技创新平台加强高端科研仪器设备研发制造。在此背景下，不少企业注重研发能力，依托人才和技术研制出更加精准的高质量装置。 4月18日，市场监督总局发布公告，批准启用由北京航天计量测试技术研究所和中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所分别研制建立的两项“激光小角度副基准装置”。 激光小角度副基准装置是国家平面角基准的重要组成之一，可复现和保存平面角单位，并作为激光小角度基准装置的备份，可为激光小角度测量仪、自准直仪、光学角规等小角度器件进行量值传递，在航空航天领域能够提升导航用激光陀螺角度控制准确度，在芯片制造领域，能够为光刻机等提供小角度量值的计量保证，在高端装备制造领域，能够为精密机床等高精密导轨提供直线度计量保证等。 北京航天计量测试技术研究所建立的激光小角度基准装置在多项关键技术上均有突破：解决了400mm超精密殷钢正弦臂、大口径空心角隅棱镜研制瓶颈，以及双频激光干涉差动测角等，实现了0.001超高精度角度测量分辨力。中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所建立的激光小角度副基准装置实现了超高分辨力小角度量值复现，具有微小角度的测量能力，其分辨力近似一个圆周的1亿3千万分之一对应的角度量值，准确度可以达到0.03″。这两项激光小角度副基准装置的建立，大大提高了我国解决当前面临的大量小角度精密测量和准确度评价问题的能力。 当前，我国测量仪器产业正在高速向国际领先水平发展，激光小角度副基准装置的建立将为我国小角度测量技术的发展提供有力的计量支撑，并推动高精度大范围自准直仪、激光小角度测量仪等高端测量仪器加速实现国产化。
